檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "表面粗糙度".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="趙振綱"
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本論文探討利用LIGA 製程來製作微透鏡,有別於一般電鑄後的微 透鏡陣列填充率不高之限制,藉由電鑄來形成高填充率的微透鏡陣列模 仁,進而提供更高的光線收集效率。主要製程步驟為先在矽基材上,利 用黃光…
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本文探討電子束蒸鍍薄膜之殘留應力,以表面輪廓儀量測薄膜蒸鍍前後的曲率變化,再反算其殘留應力,並以有限元素進行數值模擬。首先以電子束蒸鍍機沉積鈦(Ti)薄膜在矽晶圓表面,鈦(Ti)薄膜於不相同沉積速率…