簡易檢索 / 檢索結果

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    以微電鑄法製造高填充率之微透鏡陣列模仁研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 韋乾佑 指導教授: 趙振綱
    • 本論文探討利用LIGA 製程來製作微透鏡,有別於一般電鑄後的微 透鏡陣列填充率不高之限制,藉由電鑄來形成高填充率的微透鏡陣列模 仁,進而提供更高的光線收集效率。主要製程步驟為先在矽基材上,利 用黃光…
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    薄膜殘留應力量測與數值模擬
    • 機械工程系 /95/ 博士
    • 研究生: 朱桂瑩 指導教授: 趙振綱
    • 本文探討電子束蒸鍍薄膜之殘留應力,以表面輪廓儀量測薄膜蒸鍍前後的曲率變化,再反算其殘留應力,並以有限元素進行數值模擬。首先以電子束蒸鍍機沉積鈦(Ti)薄膜在矽晶圓表面,鈦(Ti)薄膜於不相同沉積速率…
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